多層プリント配線板を用いた平面形コイルによるHF〜UHF帯の電磁計測

抄録

多層プリント配線板によりマイクロストリップ線路およびシールディドループ構造の平面形コイルを作製した。これらのコイルのインピーダンス整合による広帯域性, 電界誘起電圧が小さく磁界による誘起電圧が大きい性質を利用し, 磁性薄膜の透磁率を1MHz〜3.5GHzまで計測した。さらにこれらのコイルを用いて電子回路等からの近傍電磁雑音の自動計測システムを構築し, 0.1mm刻みの高分解能計測・磁界の強度・方向計測を実現した。