抄録
高周波マグネトロンスパッタ法によって作製した新規な酸化物蛍光体であるCaO-Ga_2O_3蛍光体薄膜を、BaTiO_3セラミック絶縁形薄膜EL素子用の発光層材料へ応用し、母体材料の組成を変化させてEL特性を調べた。CaO-Ga_2O_3系の一つの化合物であるCaGa_2O_4に発光中心として、Mn、Dy、Tb、TmもしくはCeをドープしたCaGa_2O_4蛍光体薄膜を発光層に用いる薄膜EL素子では、1kHz正弦波交流電圧駆動において、最高発光輝度2790(黄色発光)、215(赤色)、30(黄緑色発光)、16(緑色発光)、6(青白色発光)もしくは2(青白色発光)cd/m^2をそれぞれ実現できた。