抄録
TFT液晶パネル製造において、実装・モジュール工程での生産ロスを抑えるため、液晶セル状態での画像検査が必須となっている。現在の画像検査方式では、走査電極・信号電極・対向電極の各端子にプローブを接触させて検査するのが一般的である。この方式では、プローブ精度確保のためのアライメント作業による生産性低下、液晶パネルの画面サイズ別に検査用プローブが必要, または検査用プローブの維持コストが高価といったような問題等がある。今回、TFT液晶パネルのセル状態での画像検査において、検査用配線パターンを液晶セル内に設けることにより、上記問題点を解決し、3〜7型TFT液晶に共通に対応した簡易画像検査を実現した。
