マイクロマシニング技術で製作した光走査型2次元マイクロイメージセンサ

抄録

マイクロロボットの視覚機能に応用可能な, 光走査型2次元マイクロイメージセンサを開発した。本センサは, マイクロマシニング技術で製作された圧電薄膜一体型2次元マイクロ光スキャナ, 光源, 受光素子, および微小光学素子が外形2mm×4mm×3mmの1チップ内に集積一体化されており, 対象物の形状および寸法の計測が計測分解能0.5mmで可能である。また本センサは, 超小型符号読み取り装置や超小型レーザ走査式表示装置への応用も可能である。