映像情報メディア学会技術報告
Online ISSN : 2424-1970
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セッションID: MMS2001-16
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Nucleation Site制御媒体形成技術
向井 良一渦巻 拓也
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抄録
本報告では、極薄Co_<90>Pt_<10>膜の堆積後の熱処理による凝集現象を利用して形成したCoPt Islandが、Cr地下層の結晶粒が成長する際の粒成長核(Nucleation Site)として機能することを明らかにした。このCoPt Islandで構成された粒成長核層(Nucleation Site Layer)の配置は、Cr結晶粒の成長を同時に開始させることで可能にするため、均一な粒径を持ったCr下地層の形成を実現させる技術であることを確認できた。さらに、この均一な粒径を持ったCr地下層を用いて媒体を形成することによって、媒体ノイズの低減が図れることを示した。
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© 2001 一般社団法人 映像情報メディア学会
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