直交する2段階の集積薄膜プロセスによる単磁極的T型リングヘッド : 100Gbpsi, 1Gbpsをめざして

抄録

第三の垂直方式を提案する。先端に1ターンコイルを巻いた高Bs長手積層膜(リーデイング)コアと低Bsの横手薄膜コアとがT型の超小型リングヘッドを形成している。これは単磁極的リングヘッドとして単層垂直膜への高密度記録に適し、また異方性付長手積層膜はサブクオタミクロントラック幅において磁化回転のみによる高速、高記録感度を可能にしている。T型構造は直交する2段階の集積薄膜プロセスによる。バージンウエハに長手積層膜コアとコイル膜半体対の三層からなるマトリックスを集積し、その多数枚を重ねガラス融着したブロックをスライスしたエムベッデッドウエハに横手薄膜コアおよび例えばシールド型MRリーダー等を集積し、コンタクトスライダーに加工する。