サーモパイル型赤外線センサアレイと自動車応用技術

抄録

感度R=2100V/Wの48×32画素サーモパイル型赤外線センサアレイを開発した。本センサアレイは、汎用CMOSICプロセス、微細パターン化Au-black赤外線吸収膜及びマイクロマシニング技術を融合して試作したもので高感度と低コストを同時に達成している。さらに、本センサアレイ使った死角内歩行者警報システムを開発し日産ASV-2に搭載した。このシステムは、人体からの放射赤外線を検知しその存在を運転者に警告すると共に歩行者が存在する方向への発進を抑止するものである。