Y_2O_3:Tb薄膜のCL特性に対するZnO基板の効果

抄録

ZnO薄膜、ITO及び石英ガラス基板に電子ビーム蒸着法により緑色発光Y_2O_3:Tb薄膜を作製し、薄膜の結晶性及びCL特性に対する基板の効果について検討を行った。結晶性及びCL特性いずれにも、c軸配向したZnO薄膜上に作製したY_2O_3:Tb薄膜が最も優れた特性を示し、4kV、60μA/cm^2電子線励起で100cd/cm^2の輝度が得られた。