{(Y_2O_3)_<1_x>-(GeO_2)_x}:Mn多元系酸化物薄膜EL素子(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

抄録

高周波マグネトロンスパッタリング法により作製した新規な多元系酸化物蛍光体である{(Y_2O_3)_<1_x>-(GeO_2)_x}:Mn薄膜を発光層に用いるセラミックス絶縁形薄膜EL素子を作製した。{(Y_2O_3)_<1_x>-(GeO_2)_x}:Mn薄膜のPL特性及びそれを発光層に用いたEL素子のEL特性は、{(Y_2O_3)_<1_x>-(GeO_2)_x}:Mn薄膜の作製条件に大きく依存した。GeO_2含有量を5〜8・1mol.%の範囲で作製した全ての{(Y_2O_3)_<1_x>-(GeO_2)_x}:Mn薄膜EL素子では、1kHz正弦波交流電圧駆動時において、1000cd/m^2以上の高輝度発光を実現できた。特に、GeO^2含有量40mol.%で作製した{(Y_2O_3)_<0.6>-(GeO_2)_<0.4>}:Mn薄膜EL素子では、1kHz及び60Hz正弦波交流電圧駆動時に、最高発光輝度7700及び724cd/m^2をそれぞれ実現できた。