抄録
新規なMn添加Y-Ge-O(Y_2O_3-GeO_2)系三元化合物蛍光体薄膜を高周波マグネトロンスパッタ法で作製し、PLおよびELにおいて高輝度黄色発光を実現した。GeO_2含有量が33、50及び67mol.%において、それぞれY_4GeO_8:Mn、Y_2GeO_5:Mn及びY_2Ge_2O_7:Mnの3種類の三元化合物蛍光体が実現でき、それらの薄膜を発光層に用いた薄膜EL素子において、1kHz(60Hz)正弦波交流電圧駆動時においてそれぞれ、最高発光輝度2500(68.1),3020(414)および2590(354)cd/m^2、並びに最高発光効率0.8(3.4),0.93(3.3)および0.22(2.02)lm/Wを実現できた。
