複合酸化物のイオン衝撃による二次電子放出特性 : 保護層材料の二次電子放出特性自動計測における回路設計(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

抄録

イオン衝撃による二次電子放出比(γ_i)はプラズマディスプレイの保護層材料を評価する重要な特性の一つである。二次電子を自動計測することで手動計測にない再現性,安定性が得られ、また測定結果の詳細な解析により、保護層材料に対する新しい知見が得られることも期待される。本研究ではパソコンを中核に置いた自動計測装置の製作を目的として、実装にあたっての留意点について検討し、電流電圧回路,及び絶縁アンプを使用した微小電流回路を設計した。