ac形PDP保護層作成条件に関する研究(映像入出力および一般)

抄録

ac型プラズマディスプレイ(ac-PDP)の保護層材料には酸化マグネシウム(MgO)が用いられている.本研究では,MgO保護層を作成する際,酸素を導入しながら蒸着をおこない,蒸着時の酸素導入がMgO薄膜の性質にどのような影響を及ぼすのか,またその影響の要因を見出す為の分析をおこなった.