抄録
FeCoB薄膜における一軸磁気異方性について,FeCo結晶の結晶歪みと配列からその起源を求めた.製膜は対向ターゲット式スパッタ法により行い,結晶構造の解析にはX線回折(XRD)を用いた.下地層にRuを用い500 Oeの高異方性磁界を有するRu/FeCoB二層膜において,容易軸方向に傾いた結晶成長と異方的結晶配列が確認された.またFeCo(110)結晶には容易軸方向に0.5%の伸張が観測され,容易軸方向への磁気弾性エネルギーE_<elastic>は3.8×10^5 erg/ccと算出された.また,そこから計算される異方性磁界H_kは470 Oeとなり,実測値500 Oeによい近似をみせたことからFeCo結晶の歪みが特異に高い異方性磁界の発現原因であることが示唆された.
