映像情報メディア学会技術報告
Online ISSN : 2424-1970
Print ISSN : 1342-6893
ISSN-L : 1342-6893
セッションID: IST2008-59
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微細MOSデバイスのランダム・テレグラフ・シグナル・ノイズ(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
須川 成利
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キーワード: RTSノイズ, アレイTEG
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抄録
微細MOSデバイスで発生するランダム・テレグラフ・シグナル(RTS)ノイズに関して、大規模アレイTEGを用いて、ゲート絶縁膜材料依存,アンテナ比依存,ソースドレインを入れ替えた際のRTSノイズ,およびゲート高電界ストレスを印加した後のゲートリーク電流とドレインソース電流のRTSノイズの相関を測定したのでその結果について報告する.
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© 2008 一般社団法人 映像情報メディア学会
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