非インジウム系酸化亜鉛透明導電膜の技術開発動向(21年度第1回研究会)

山本 哲也; 山田 高寛; 牧野 久雄; 山本 直樹

doi:10.11485/itetr.33.26.0_5

セッションID: ENT2009-14

DOI https://doi.org/10.11485/itetr.33.26.0_5

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非インジウム系酸化亜鉛透明導電膜の技術開発動向(21年度第1回研究会)

山本哲也, 山田高寛, 牧野久雄, 山本直樹

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キーワード: 酸化亜鉛, 錫添加酸化インジウム, 透明導電膜

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抄録

Ga添加酸化亜鉛(GZO)透明導電膜の研究開発は、これまでの基礎物性研究開発フェーズから、透明電極応用となる液晶ディスプレイパネル実装への応用研究開発フェーズへと今年度、進展した.産学連携により量産ラインでの3インチサイズパネル試作を行い、従来技術(ITO透明導電膜使用の液晶ディスプレイパネル)と同程度の成果を得た.加えて、パネル連続点灯性能、温度60℃、湿度90%条件で、1,000時間連続点灯においてのパネル点灯性能、に対する信頼性評価を満足する結果を得た.

責任著者(Corresponding author)

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