青色無機EL材料Ba_2SiS_4:Ceの成膜・アニール方法の検討(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

抄録

Ba_2SiS_4:Ceは低温プロセスで作製可能な青色エレクトロルミネッセンス(EL)材料として期待される。本研究では、Siの過剰添加によるBa_2SiS_4:Ce蛍光体薄膜の発光強度の改善、下地層の導入による結晶性の改善、アニール方法の検討によるBa_2SiS_4:Ce薄膜EL素子の発光特性の改善をそれぞれ試みた。作製した素子からはBa_2SiS_4:Ceによる色純度の良い青色EL発光が得られた。