R面又はA面のサファイアシートを基板とし,酸化物蛍光体薄膜を発光層に使用した無機薄膜ELを作製した.R面サファイアシートを基板とし,高温アニール処理を施したZn_2Si_<0.6>Ge_<0.4>O_4:Mn蛍光体薄膜を発光層として用いた片絶縁構造又は二重絶縁構造のEL素子において,高輝度な緑色発光が得られた.厚さ約60μmのR面サファイアシートを基板として用いた二重絶縁構造を採用することにより,曲げられるシースルーZn_2Si_<0.6>Ge_<0.4>O_4:Mn無機薄膜ELランプを実現した.
