赤外線放射を用いた半導体故障解析装置(第10回赤外放射の応用関連学会年会)

抄録

近赤外線と赤外線の計測を手段とした半導体故障解析装置は、広く一般に使用されている。近赤外線発光計測による解析技術、及び赤外線計測による発熱解析技術と、それらの解析事例について解説する。