主催: 情報センシング
会議名: 情報センシング
開催日: 2017/11/13
本研究では,可視域から近赤外域にかけて同時弁別性を有するCMOSマルチバンドイメージセンサの開発を目的とする.CMOSイメージセンサのマルチバンド化に対し,金属ナノ構造に誘起される表面プラズモン共鳴に基づいた新規オンチップカラーフィルタを提案する.提案するカラーフィルタは,同心円状の周期凹凸に囲まれたサブ波長の単一開口から成る金属薄膜である.表面プラズモンとの共鳴結合によりフィルタリングされた光は,中心開口からビーム状に透過する.金属凹凸の周期に依存して任意の波長の光をビーム状に透過する金属薄膜は,CMOSイメージセンサにおける隣接画素間の空間的光クロストークを抑制し,色再現性の向上が期待される.本研究では,金属薄膜フィルタの可視域から近赤外域における波長選択性を実証することにより,マルチバンドイメージングへの有用性を示す.