誘導結合プラズマ支援反応スパッタリング法による窒化膜の開発
2023 年 34 巻 p. 22-23
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2023 年 34 巻 p. 22-23
窒化チタン(以下，TiN)膜や窒化クロム膜等に代表される 金属窒化膜は，工具や金型の寿命延長を目的に広く用いら れている．これらの皮膜は，主にアークイオンプレーティ ング法や反応スパッタリング法に代表されるPVD 法により 成膜されているが，山口県産業技術センターでは，通常の反応スパッタリング装置のターゲッ トと基板間にコイルを挿入し，当該コイルに高周波電力を 投入し，誘導結合プラズマを発生させた状態で成膜を行う， 誘導結合プラズマ支援反応スパッタリン グ法による各種窒化膜の成膜を検討しており，様々な有用な特性を確認している． 本手法の成膜対象物として想定される工具や金型は，一 般的に凹凸部や鋭利なエッジ部等からなる複雑な形状を有 していることが多い．そのため，本手法がそれら複雑形状 に対してどのような被覆性を有するかを検討することは非 常に重要である．本報告では特に，立方体形状のエッジ部 におけるTiN 膜の被覆性について検討を行ったため，その 結果を報告する．
