超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集
Online ISSN : 2433-1414
セッションID: PB8
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PB8 超薄膜SAWデバイスへのイオンビームスパッタAl膜の適用(ポスターセッションB)
上條 敦, 三塚 勉, 山本 泰司, 友常 薫, 田道 繁
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© 1992 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会
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