フィードフォワード制御を併用した梁のピエゾアクチュエータによる上下振動の制御

抄録

半導体工場において、人間の歩行振動や生産機器の振動による上下振動が問題となっており、梁に組み込まれたピエゾアクチュエータを用いた曲げモーメント制御による制振効果が確認されている。本研究では梁の加速度をフィードバック信号としたH_∞制御理論に加え、フィードフォワード制御を併用することによって、より制振効果の高い制御器を設計し、実験によりその効果を確認した。