ガントリータイプ精密テーブルの精密速度制御について

抄録

液晶用塗布装置において、従来は回転型のスピン・コーターと呼ばれるタイプが主力であったが、近年ガラスサイズの大型化に伴いガントリー・タイプが主流となりつつある。　ここではガントリー・タイプの精密速度制御において要求される要素を述べ、又ＰＣコントローラを使ってクロスカップリング方式により速度ムラと左右偏差を要求仕様以下に抑える制御に成功した事を報告する。