可変キャパシタ機構を利用した静電アクチュエータ制御システムの開発

(第一報）駆動原理と基礎実験

抄録

非接触静電浮上を行う場合は高電圧を高速で変化させる必要がある．従来の静電アクチュエータでは，高精度かつ大掛かりな高電圧増幅器を必要とするが，これらの増幅器は極めて高コストである．本研究では静電アクチュエータを等価的にキャパシタとみなし，これと可変キャパシタを直列接続する．可変キャパシタの静電容量を変えることで,静電アクチュエータへの印加電圧の制御を試みた．