マルチモード超音波モータの開発

ステータ振動子の最適設計の検討

抄録

超音波モータの駆動原理として楕円軌道を描く振動を用した方式が一般的であるが、8の字軌道運動を利用することにより従来は二つ必要であった駆動用アンプを一つにすることができる。また、同じ構成でインパクト駆動を取り入れ、最終的にナノオーダの精密位置決め駆動を可能にする。本研究では、8の字軌道による駆動を実現するための振動子の設計方法、及びその制御方法の検討を行った。