半導体製造工程における待ち時間制御に関する研究

自動制御連合講演会講演論文集

第49回自動制御連合講演会

セッションID: general

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.49.0.533.0

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主催: システム制御情報学会, 計測自動制御学会, 日本機械学会, 化学工学会, 精密工学会, 日本航空宇宙学会

共催: 神戸大学工学部

半導体製造工程における待ち時間制御に関する研究

*三木秀敏, *黒瀬伸二, *乾口雅弘

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キーワード: Semiconductor Manufacturing, Scheduling, Dispatching, Simulation

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