抄録
振動制御の分野では，加速度センサが多用されている。しかし，振動制御では，検出信号として加速度情報だけでなく速度および変位情報も活用できることが望ましい。加速度センサを用いて速度，変位情報を得るためには積分器が必要となるが，積分器の低周波域でのノイズの増幅が問題となる。そこで，サーボ形速度センサを用い，センサの内部にある検定コイルを活用し，絶対変位センサを開発することで，この問題を解決している1)。従来，鉛直用センサを用いていたが，本研究では，水平用センサを導入し，鉛直形との特性の違いを検証する。また，この絶対変位センサは，外部に装着したフィードバック回路のパラメータを変えることで，センサとして使用できる周波数帯域を変化させることができる。従来は，この周波数応答の整形を試行錯誤によって行っていたが，絶対変位センサの制御構造が，1形のサーボ系に等価変換できることから，状態フィードバックを用いたシミュレーション設計できることが示された2)。そこで本研究では，まずシミュレーションに基づいてパラメータを決定してから，それを実装して周波数特性の実測をし，シミュレーション設計の妥当性を示す。
