圧電アクチュエータで駆動される単軸ポジショナの高精度制御

尾崎 稔国; 陳 新開

doi:10.11511/jacc.53.0.16.0

第53回自動制御連合講演会

セッションID: 117

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.53.0.16.0

会議情報

主催: 日本機械学会, 計測自動制御学会, システム制御情報学会, 化学工学会, 精密工学会, 日本航空宇宙学会

共催: 50の学会，協会などから協賛

制御応用（２）

圧電アクチュエータで駆動される単軸ポジショナの高精度制御

*尾崎稔国, 陳新開

著者情報

キーワード: 圧電アクチュエータ, ポジショナ, ヒステリシス

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抄録

圧電アクチュエータの入出力関係においてヒステリシスという複雑な非線形現象が存在しているため，圧電アクチュエータで駆動されるナノポジショナの高精度制御は困難である．この研究では，適応制御を用い，ナノポジショナの高精度制御手法を提案し，様々な周波数の目標値に対して実験を行い，設計手法の有効性を確認した．

責任著者(Corresponding author)

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