磁界解析ソフトMagNet7を用いた真空バルブモータの3次元動解析

今井 悠介; 中村 幸紀; 涌井 伸二

doi:10.11511/jacc.54.0.234.0

第54回自動制御連合講演会

セッションID: 2B203

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.54.0.234.0

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主催: 公益社団法人計測自動制御学会, 一般社団法人日本機械学会, システム制御情報学会, 公益社団法人化学工学会, 公益社団法人精密工学会, 社団法人日本航空宇宙学会

共催: 国立大学法人豊橋技術科学大学, 51の学会，協会などから協賛

メカトロニクス(2：USM・要素技術)

磁界解析ソフトMagNet7を用いた真空バルブモータの3次元動解析

*今井悠介, 中村幸紀, 涌井伸二

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抄録

真空バルブモータの位置決めに関する研究である．同バルブは真空チャンバ内で使われ，弁の開閉によって高真空と低真空を切り替えでき，排気ガスの流量コンダクタンスも制御できる．従来はチャンバ内にモータが入り込んでいるが，コンタミの問題が生じる．そこで発塵を低減してダストの飛散を抑制できるよう，モータをチャンバ外に置き，機械的接触のほとんどない新たなモータを考えた．本稿では，Infolytica社製の磁界解析ソフトMagNet7を用いた真空バルブモータの3次元動解析について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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