速度センサの振動子に対する実験モーダル解析

植本 隆明; 甲斐 孝志; 中村 幸紀; 涌井 伸二

doi:10.11511/jacc.54.0.235.0

第54回自動制御連合講演会

セッションID: 2B204

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.54.0.235.0

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主催: 公益社団法人計測自動制御学会, 一般社団法人日本機械学会, システム制御情報学会, 公益社団法人化学工学会, 公益社団法人精密工学会, 社団法人日本航空宇宙学会

共催: 国立大学法人豊橋技術科学大学, 51の学会，協会などから協賛

メカトロニクス(2：USM・要素技術)

速度センサの振動子に対する実験モーダル解析

*植本隆明, 甲斐孝志, 中村幸紀, 涌井伸二

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抄録

著者らが提案した絶対変位センサの検出帯域は，2～100Hzに制限される．これを半導体露光装置の産業応用に供するには，少なくとも0.1～200Hzまでの広帯域化が必要である．しかし，高周波ダイナミクスと称する障害がある．提案のセンサは，市販の速度センサを母体とするので，これと同特性の高周波ダイナミクスを有する．そこで，速度センサの実験モーダル解析を行い，高周波領域の機械共振を抑制する．

責任著者(Corresponding author)

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