アクティブ除振システムの除振性能と位置決め性能の両立に関する研究

抄録

従来のアクティブ除振システムでは、床上の振動をいかに低減して嫌振機器へ伝えないようにするか、に着目した研究が行われている。本研究は、高い除振性能に加えて、除振テーブルの位置静定性能を向上させることを目的として、位置静定制御系を考慮したアクティブ除振システムの定式化および解析モデルの設定を行い、フィードバック制御系と位置決め制御系の設計方法を示す。