紅亜鉛鉱薄膜の合成とガスセンサ特性

日本鉱物科学会 2015年年会

セッションID: R2-P19

会議情報

主催: 日本鉱物科学会

R2：結晶構造・結晶化学・物性・結晶成長・応用鉱物

紅亜鉛鉱薄膜の合成とガスセンサ特性

著者情報

キーワード: 紅亜鉛鉱, 薄膜, センサ

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

紅亜鉛鉱を薄膜化しエタノールセンサとしての性能評価を行った．薄膜化にあたり重金属の１つであるタングステンを添加した．Wの添加により膜質は変化し、それに伴いセンサ感度の向上が見られた．