電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
平成16年度電気関係学会九州支部連合大会（第57回連合大会）講演論文集
セッションID: 04-1P-02
会議情報

主催: 電気関係学会九州支部連合会

ナノパルス高電圧重畳による高周波プラズマ中の炭素系硬質薄膜合成
*槙尾 和哉, Dipulasu Constantin, 三沢 達也, 大津 康徳, 藤田 寛治
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キーワード: プラズマ理工学
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© 2004 電気関係学会九州支部連合大会委員会
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