電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
平成16年度電気関係学会九州支部連合大会（第57回連合大会）講演論文集
セッションID: 05-2A-12
会議情報

主催: 電気関係学会九州支部連合会

積層構造高誘電率絶縁膜の熱処理による組成変化
*安達 秀任, 杉本 陽平, Hoaj Nam Hoai Nam, 吉村 雄樹, 中島 寛
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キーワード: 半導体・電子デバイス
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