二周波プラズマスパッタリングを用いた窒化アルミニウム薄膜の高速合成

抄録

窒化アルミニウムは圧電性をもった物質である。キュリー温度が1200℃と高く、環境面で安全なため、高温部の腐食検出センサとして期待されている。現在、窒化アルミニウム薄膜はマグネトロンスパッタリングで生成されているが、本研究は、生産性向上のため大面積化が可能な誘導結合型プラズマでプラズマを生成し、容量結合型プラズマと組み合わせることで、成膜速度の向上を目指した。