抄録
最近Al添加ZnO(AZO)はスズ添加酸化インジウム(ITO)に代わる透明導電膜材料として注目されている。我々はこの材料を用いた高品質な薄膜を成膜するプロセス技術の確立を目指し、誘導結合プラズマ(ICP)でプレーナマグネトロンを支援することを試みている。アルゴンガスに水素を添加すると導電性が飛躍的に向上することが報告されている。そこで本実験においても水素添加効果によるAZO膜導電率の向上を試みている。本講演では、アルゴンガスの場合とアルゴンガスに水素添加した場合のAZO膜への影響に関する比較結果を報告する。
