MEMS加速度センサ電磁環境下での特性調査

抄録

電力用ガス遮断器の状態を知る為の診断方法として現在ガス圧の点検や、リレー動作による動作状況の分析などが行われている。 筆者らはガス遮断器に加速度センサを取り付け、各部位に発生している加速度からその状態を診断する常時加速度診断システムの構築を目的とし研究を行っている。小型で安価なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度センサの診断用システムへの適用性を検討するために開発を行っている。 電力用ガス遮断器は高電圧、大電流の電力系統下で機能する為、電磁波によるノイズが加速度診断を妨げる可能性が懸念されているので、電磁環境下での特性を調査した。その結果を報告する。