MS技術を利用した高周波水晶振動子の研究開発

抄録

次世代高速ネットワークとして40Gbps/100 Gbpsイーサネットの標準化がほぼ完了し、本格的に動きだしている。それに伴い，基準クロックである電圧制御型水晶発振器(VCXO)に使われる水晶振動子の高周波化が求められている。オーバトーン振動子は基本波と比べてCI値増加による発振余裕度の低下、容量比が大きいなどの理由から基本波水晶振動子の高周波化が必要となる。
本研究では，安価なウェットエッチング技術を用いて600MHz帯の通信用水晶振動子の開発を目標とし，その基礎研究として基本周波数150MHzの水晶振動子の製作プロセスを構築した。また、振動子の形状とQの関係を評価し、最適な形状を決定した。