スパッタリング法によるヒートミラー用TiN薄膜の作製

抄録

　ヒートミラーは窓ガラスに用いることで、可視光を透過し太陽光からの赤外光を反射するため、夏場は室内の冷房負荷を低減する効果がある。本研究では、酸化チタン(TiO2)および窒化チタン(TiN)薄膜の積層構造によるヒートミラーを実現するために、高周波マグネトロンスパッタリング法を用いてTiN薄膜の作製を行った。実験ではRF電力、Ar:N2ガス流量比、ガス圧力、基板温度を変化させてTiN薄膜を作製した。作製したTiN薄膜は紫外–可視分光光度計およびフーリエ変換型赤外分光光度計を用いて評価し、ヒートミラー用の赤外光反射膜として利用可能なTiN薄膜作成条件の最適化を目的とした。