クエン酸浴から作製したFe-Co電析膜の磁気特性

抄録

Fe-Co系合金は高飽和磁化材料として知られており，その薄膜は，主に記録ヘッドなどの高磁束密度が要求されるデバイスへ応用されている。本研究では，成膜装置が簡便であるなどの理由から，工業的に有利な成膜手法の一つである電解めっき法に着目した。電解めっきによるFe-Co膜の作製ならびにその磁気特性の向上に関しては過去に多くの研究がなされており，それらの多くにはホウ酸をベースとするめっき浴が用いられている。本研究では，排水規制物質であるホウ素を含むホウ酸をクエン酸に置換し，クエン酸をベースとするめっき浴からFe-Co膜を作製し，その磁気特性を評価した。