抄録
通信用高周波デバイスの需要は高度情報化社会の発展に伴って増加の一途をたどっており,更なる高機能化,小型化が望まれている.我々はFerromagnetic resonance (FMR)周波数の高い高飽和磁化材料であるFeに注目した.FMR周波数が高いことに加え,Fe(100)が4回対称磁気異方性を持つことを利用して,可変インダクタや新規メモリへの応用を目指している.本研究では渦電流損の影響を考慮して,ミクロン・ナノオーダの微細パターンをモデルとしてマイクロマグネティック計算を行ない,複素透磁率を計算することで高周波磁気特性評価を行なった.また,格子定数の近いMgOを介したFeの多層パターンについても評価を行なった.