電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
平成24年度電気関係学会九州支部連合大会(第65回連合大会)講演論文集
セッションID: 02-2P-18
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多重内部反射赤外吸収分光法を用いた液中プラズマの「その場」「実時間」反応計測法の開発
*深江 陽大天野 勝裕篠原 正典松田 良信藤山 寛
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抄録
本研究では、多重内部反射赤外吸収分光法(MIR-IRAS)を用いて、液中プラズマの反応を「その場」「実時間」計測できる計測系を含んだ装置の開発を行っている。MIRプリズムから出力されるエバネッセント波の位置を変えることで、液中プラズマの生成による液相の化学結合状態の変化と堆積物の化学結合状態の変化が計測可能であると考えられる。そこで、エタノール中でプラズマを生成し、開発した装置を用いて計測を行った。その結果、液相では分子中のCH3が優先的に消失し、炭素・水素を要素とする堆積物が生成されるということを計測できた。本講演では、装置の開発と詳細な結果について報告を行う。
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© 2012 電気関係学会九州支部連合大会委員会
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