抄録
我々は数十μm/h以上の成膜速度を持つPLD（Pulsed laser Deposition）法を用い等方性Fe-Pt系厚膜磁石を作製してきた。本手法ではターゲットより飛散する数μm径以上のドロップレットを利用することで、短時間での厚膜化を実現している。加えて最近我々は、そのドロップレットが磁気特性の低下を招く事も見出した。本報告では、Fe-Pt系厚膜磁石の作製において、レーザのエネルギー密度の制御（具体的にはdefocus rateの制御)が、「ドロップレット量やそのサイズの低減」、「組成の最適化」に及ぼす影響を検討すると共に、その磁気特性を評価した。
