液相レーザアブレーション法によるSbナノ微粒子の作製

抄録

アンチモン（Sb）は、p型化が困難である酸化亜鉛（ZnO）のためのアクセプタ元素の一つとして期待されている。我々は、Sb薄膜を蒸着したZnOに対してレーザドーピングすることでp型ZnOの実現可能性を検討してきた。本研究では、Sbをナノ微粒子化してZnOにレーザドーピングすることを提案し、Sbマイクロ粒子を液相レーザアブレーション法によりナノ微粒子化を試みた。本稿では、Sbナノ微粒子の作製法および作製したSbナノ微粒子のサイズ分布等について報告する。