クエン酸浴から作製したFe-Ni膜の生産性改善に関する検討

抄録

Fe-Ni合金は代表的な軟磁性材料の一つである。Fe₂₂Ni₇₈付近の組成を有する合金は結晶磁気異方性や磁気歪みがほぼゼロとなることから，特に優れた軟磁気特性を示す。本研究室では，優れた軟磁気特性を有するFe-Ni合金を小型デバイスへ応用することを目的に，電析法を用いたFe-Ni膜作製を検討してきた。本研究では，Fe-Ni電析膜の生産性改善を目的に，めっき浴内のクエン酸量に着目し，様々なクエン酸濃度のめっき浴からFe-Ni膜を成膜し，諸特性の評価を行ったので，その結果を報告する。