SnO₂ナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサの空気中NO₂応答に対する紫外線照射強度の影響

抄録

著者らは、これまでカーボンナノチューブ(CNT)をマイクロ電極上に集積するセンサ作製法（誘電泳動集積法）を開発し、同集積法で作製したCNTガスセンサによってNO2を検出した。また、p型半導体であるCNTに対してn型半導体であるSnO2ナノ粒子を修飾することで、N2中におけるNO2応答感度を向上させた。しかし、同センサでは空気中のNO2応答感度を向上させられなかった。本研究では、SnO2ナノ粒子修飾CNTガスセンサの空気中NO2検出において、センサ表面に吸着している空気由来のO2が応答感度向上を阻害していると考え、センサ表面に吸着しているO2を脱離させるために紫外線を照射しながら空気中でNO2を検出し、紫外線強度のNO2応答に対する影響を調査した。