主催: 電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会
会議名: 平成29年度電気・情報関係学会九州支部連合大会
回次: 70
開催地: 琉球大学
開催日: 2017/09/27 - 2017/09/28
医療・歯科用途へ磁石膜を用いる場合,優れた磁気特性に加え,高い耐食性や生体適合性も重要となる。本研究室では,上記条件を満足する磁石膜として,めっき法を用いて作製したFe-Pt膜に着目し,これまでに高保磁力を有する数十ミクロン厚のFe-Pt厚膜磁石に関する報告を行ってきた。本稿では,従来の厚膜磁石で課題であった膜質の改善ならびにクラックの低減を鑑み,基板の変更に着目した。その結果,従来のTa基板からCu基板へ変更したところ,磁気特性の劣化なく,大幅なクラック低減ならびに表面平滑性の改善を実現できたのでその結果を報告する。