めっき浴内の塩化物イオンが軟磁性めっき膜の磁気特性に与える影響

抄録

本研究室ではこれまでにクエン酸や塩化アンモニウムをベースとするめっき浴から優れた軟磁気特性を有するFe-Ni系膜が作製可能であることを示してきた。また，最近ではクエン酸浴および塩化アンモニウム浴から作製したFe-Ni膜の保磁力要因に関する検討を行い，塩化アンモニウム浴から作製したFe-Ni膜には①磁気歪みを介した異方性が誘起される可能性があること，②その大きさが浴内の塩化物イオン濃度に依存すること，などを示した。本稿では，Fe-Ni合金よりも磁気歪みの大きな合金，具体的にはFe-Co合金を様々な塩化物イオン濃度のめっき浴から成膜し，その磁気特性を評価したのでその結果を報告する。