主催: 電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会
会議名: 平成30年度電気・情報関係学会九州支部連合大会
回次: 71
開催地: 大分大学
開催日: 2018/09/27 - 2018/09/28
医療用材料として,乾式法や湿式法により10 µm厚以上のFe-Pt系永久磁石膜の開発に関する報告はあるものの,いずれも成膜後の不規則相を熱処理により規則化する工程が必要であり,成膜と同時に規則化できれば,Fe-Pt系永久磁石膜の作製手法の進展に貢献できるものと考えられる。我々は,Fe-Pt合金ターゲットに高エネルギーのパルスレーザを照射するPLD (Pulsed Laser Deposition) 法を用い,レーザを照射したターゲットから基板への輻射熱を利用し,熱処理工程を経ずにFe-Pt系永久磁石膜を作製する手法を提案してきた。本報告では,「ターゲットと基板間の距離」や「ターゲット表面でのレーザ径のサイズ」を系統的に変化させ,作製法に関する基礎的な知見の獲得を検討した。