電子機器への10 μm厚以上の磁石膜の利用を鑑みて，様々な乾式法によりNd-Fe-B系厚膜磁石の報告がなされている。我々は，真空中でNd-Fe-Bターゲットにアーク放電を起こし，Nd-Fe-B系磁石粉末を形成し堆積させ熱処理することで，その厚膜磁石の作製を報告してきたものの，減磁曲線にニックが生じ，比較的高い残留磁気分極を得たとしても，動作点での磁気分極の値が低下する課題が生じていた。本報告では，試料の形状に着目し，上記の減磁曲線の2段化に関する問題の解決を念頭に，真空アーク蒸着法を用いた磁石膜の磁気特性の向上を検討した。
